? ? ? ? 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司致力于半導體濕法處理工藝及設備的研發(fā)與創(chuàng)新，在國家十一五和十二五規(guī)劃以及02重大專項的支持下，成功研發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“動態(tài)薄層晶圓表面化學處理技術(shù)和設備”，主要應用于半導體晶圓表面去膠、腐蝕、清洗、鈍化，以及晶圓雜質(zhì)及超微量污染提取和相關(guān)檢測服務。
? ? ? ?華瑛微電子作為半導體綠色制造的引領(lǐng)者，采用自主創(chuàng)新的“動態(tài)薄層技術(shù)DTL”，目前公司已完成對上海新昇、上海集成電路、華潤重慶等設備的交付，與新晟、金瑞泓、華虹無錫、中芯國際等企業(yè)開展合作。目前已獲得國內(nèi)授權(quán)專利57項，國際發(fā)明專利30項，臺灣發(fā)明專利8項。
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